臭氧（O3）是一種活性氧，可以快速消毒殺菌、除藻、脫色等，而且臭氧的消毒殺菌的效果，是紫外線和氯的殺菌效果的600-3000倍以上，并且無副產(chǎn)物、無二次污染、無殘留等問題產(chǎn)生，因此臭氧常被作為游泳池水處理消毒的手段之一。
在目前專業(yè)的游泳池水處理系統(tǒng)中，常使用的兩套臭氧消毒系統(tǒng)分別是：分流量全程式臭氧系統(tǒng)和全流量半程式臭氧系統(tǒng)。
全流量臭氧消毒系統(tǒng)：指的是游泳池水處理過程中，將泳池中全部循環(huán)的水量都與投加的臭氧充分接觸、混合、反應(yīng)，從而達到消毒效果，保證了泳池水質(zhì)。這種處理方式需要的泳池水處理設(shè)備較多，投資較大，適用于一些大型的游泳池。
分流量臭氧消毒系統(tǒng)：指的是通過對少部分循環(huán)池水進行消毒，再將其與剩余未投加臭氧的池水混合，使稀釋的臭氧消毒水對游泳池繼續(xù)進行消毒。這種設(shè)計方式的好處是：減小了臭氧反應(yīng)罐的體積，不用安裝其它過濾吸附設(shè)備，減小了設(shè)備占地面積，適用于小型游泳池。
而半程式臭氧系統(tǒng)與全程式臭氧系統(tǒng)的區(qū)別是：半程式臭氧系統(tǒng)在全程式臭氧系統(tǒng)的基礎(chǔ)上增添了活性炭吸附罐，通過利用活性炭的吸附功能，將游泳池臭氧消毒過程中多余的殘余臭氧吸附掉，從而滿足了新國標(biāo)中對殘余臭氧的控制指標(biāo)。（《公共場所衛(wèi)生指標(biāo)及限制要求》（GB 37488-2019）規(guī)定，使用臭氧時，游泳池水面上20cm高度的范圍內(nèi)，空氣中的臭氧濃度必須低于0.2mg/m3）
在使用半程式臭氧消毒系統(tǒng)時需要注意的是，活性炭在長期使用后會達到吸附飽和，此時就不能控制殘余臭氧濃度，所以活性炭必須定期更換（一般更換周期為3~6個月）。